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潔凈室知識
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潔凈室用的FFU風(fēng)機過(guò)濾單元高效過(guò)濾器的DOP檢漏怎么操作
在FFU風(fēng)機過(guò)濾單元高效過(guò)濾器上風(fēng)側發(fā)DOP檢漏時(shí),在FFU高效過(guò)濾器的上風(fēng)側必須設有DOP的導入裝置及濃度檢測管。FFU這兩個(gè)管子也可以用來(lái)檢測過(guò)濾器的阻力。
在FFU檢測中,如果室內干擾因素太多,為排除干擾,可在風(fēng)口出口加隔離罩,在罩內進(jìn)行檢測,這樣檢測的數據較為準確。
尤其要注意的是,在過(guò)濾器和安裝框架之間的檢漏,可以沿安裝框架檢漏,也可以送風(fēng)口箱體斷面上檢漏,但要排除卷吸氣流的干擾,要避免箱體上的積灰干擾,尤其是采樣口不能接觸高效風(fēng)口箱體或過(guò)濾器的框架。
在有速度的氣流中采樣,采樣速度應等于氣流速度,否則采樣濃度將大于或小于真實(shí)濃度,即氣流速度大于采樣速度,采樣濃度將大于真實(shí)濃度,反之,氣流速度小于采樣速度,采樣濃度將小于真實(shí)濃度。
假定FFU高效過(guò)濾器下實(shí)際斷面風(fēng)速為0.45m/s,圓形取樣口直徑Ds的計算:
V×1/4×πDs =Fa 2
Fa ——儀器采樣量,28.3L/min=472cm3/s
V ——FFU過(guò)濾器面風(fēng)速 0.45 m/s
經(jīng)計算 Ds=36. 5 mm
實(shí)際上儀器的取樣口直徑為35mm或正方形30×30mm,當然取樣口也可以是長(cháng)方形的,經(jīng)計算此時(shí)的采樣速度為0.49~0.52m/s,可以認為是等速采樣。
根據國際標準組織(ISO)關(guān)于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的測試和測試方法(ISO14644-3)中公式計算:Sr≤Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中:Sr-探管掃描速率cm/s;
Cc-被測過(guò)濾器上風(fēng)向氣溶膠濃度cm-3(50粒子/cm3);
Ps -被測過(guò)濾器最易穿透粒徑最大允許整體穿透率;
PL -被測過(guò)濾器的最大允許泄漏;
K -一個(gè)因數,表示PL可能比Ps大多少倍;
Dp -平行于掃描方向的探管尺寸 (cm),本文使用圓形采樣管,直徑35mm;
Fs – 離散粒子計數器的標準樣品流量,
Fs=472cm3/s(28.3L/min);
Np -預期量,表現出泄漏特征的粒子計數值;
用下式計算:
Np=Cc×Ps×K×Fs
Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 個(gè),代入 Sr式得Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)
每個(gè)測點(diǎn)實(shí)際獲得時(shí)間 Ts=Dp/Sr=1 s
所以,采樣口的掃描速率是和上游粒子濃度穿透率、K值、采樣口的口徑、采樣流量有著(zhù)密切的關(guān)系。特別需要指出的是,如采用28.3L/min 的粒子計數器和2.83L/min的粒子計數器,他們的掃描速率可以相差十倍,也就是講,每檢測一個(gè)過(guò)濾器的時(shí)間也相差十倍。
規范要求掃描速率為5~20mm/s(其實(shí)這個(gè)速率是應該根據具體情況可以計算調整的,一般建議采用28.3L/min的粒子計算器,掃描速率在30~ 5mm/s左右)。
規范第5.4.1條指出“對于高效過(guò)濾器,應不大于過(guò)濾器出廠(chǎng)合格透過(guò)率的2倍,對于超高效過(guò)濾器,應不大于出廠(chǎng)合格透過(guò)率的3倍?!倍鶕l文說(shuō)明的第四節評定標準則相反,高效過(guò)濾器的透過(guò)率是3倍,而超高效過(guò)濾器的是2倍。從提供的數據來(lái)看,應該是以條文為準。
如果上游濃度為3.5×104 粒子 /L,0.5μm的高效過(guò)濾器效率是99.99%,下游濃度為3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子計算器檢測≤ 10應為合格,否則應進(jìn)行修復,修補總面積不能超過(guò)過(guò)濾器截面的 5%,每個(gè)修補點(diǎn)修補的最大長(cháng)度必須在 40mm以下。
本文用14644-3的檢漏方法及有關(guān)計算。如上述,Np 是表泄漏特征的粒子數,在Np=11.8 時(shí),可接受觀(guān)測計數Ca=7個(gè)。在檢漏中,塵埃粒子讀數C ≤ Ca時(shí),認為掃描區域無(wú)泄露,可繼續掃描,否則,要做靜態(tài)測定。靜態(tài)測定時(shí),采樣頭在測點(diǎn)的滯留時(shí)間設定為10秒鐘,此時(shí)測得的最大粒子數為Npa:Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118
這是采樣流量為472cm3/s,采樣時(shí)間為10s時(shí)的讀數值,大于此數可判斷為泄漏。
如果系統總風(fēng)量不大,DOP發(fā)塵可直接送入總風(fēng)管。如果DOP發(fā)塵的總量不夠,達不到預計的濃度要求,可將DOP直接發(fā)入高效送風(fēng)口的靜壓箱。需要指出的是,上游的氣溶膠濃度需要檢測。如果穩定后,可對每個(gè)過(guò)濾器進(jìn)行泄漏檢測。如果上游的氣溶膠濃度太高,粒子 計數器無(wú)法檢測,可通過(guò)稀釋的方法來(lái)進(jìn)行測量。