請詳細閱讀本說(shuō)明書(shū)，并妥善保存，以備日后維護時(shí)參考 ?。
1-1 風(fēng)機過(guò)濾器單元
風(fēng)機過(guò)濾器單元（FFU ）是一種 自帶動(dòng)力、具有過(guò)濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝 置 。
風(fēng)機從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng) HEPA 過(guò)濾，過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè) 。
● 使用環(huán)境
?周?chē)鷾囟龋?℃～40℃
?濕度：低于 85%RH(沒(méi)有濕氣凝結狀態(tài)下)
?周?chē)諝猓阂话闶覂瓤諝?br />
?清凈度：100-10 級
?請避免連續反復 ON/OFF 操作機體
如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機濾網(wǎng)機組，將會(huì )影響制品性能，并可能會(huì )發(fā)生電氣短路現象，造成電氣部件損壞，縮短制品使用壽命。為能安全且有效地使用風(fēng)機過(guò)濾器單元請參閱第 4 頁(yè)的〝重要安全事項〞。
2 1-2 結構及特點(diǎn)
(1) 主要部件
1 2-1 安裝使用環(huán)境
● 風(fēng)機過(guò)濾器單元的安裝應遠離加熱器、火爐或其它熱源。
● 設置風(fēng)機過(guò)濾器單元場(chǎng)所不可放置易燃物，以免發(fā)生火災。
● 請勿在機體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品，如果機體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì )導致火災或爆炸等事故發(fā)生。
● 請勿于機體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品，如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會(huì )導致機體腐蝕及損壞。
2 2-2 運送與安裝
● 請在風(fēng)機過(guò)濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運制品，搬運時(shí)務(wù)必保持水平，如果使用輕便推車(chē)等工具運送時(shí)，請選用車(chē)臺超過(guò)機體包裝寬度的推車(chē)。
● 機體安裝后，機體上方至少須預留 30 公分以上的空間，以利將來(lái)機體維修，未預留足夠的維修空間，機體將無(wú)法進(jìn)行維修及部件更換。
● 試運轉前，請先拆除吸入口上及均流板下附著(zhù)的保護膜。
3 2-3 安裝 ? 使用注意事項
● 風(fēng)機過(guò)濾器單元安裝于無(wú)塵室時(shí)，請務(wù)必遵守下列指示
● 當進(jìn)入無(wú)塵室時(shí)
請穿著(zhù)防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內。
請以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內。
請以酒精清理衣柜未保護處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內。
點(diǎn)檢時(shí)請使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。
● 切勿直接重壓風(fēng)機過(guò)濾器單元機體，以免造成機體變形。
● 請勿以沾濕的手操作機體，以免發(fā)生觸電危險。
● 請勿遮蔽機體吸入口及吹出口，機體吸入口及吹出口被遮蔽，將導致機體性能無(wú)法正常發(fā)揮，造成機體功能異?；螂姎獠考p壞。
● 實(shí)施第三種接地工事，以避免電擊產(chǎn)生之危險。
. 2. 重要安全事項
3-1 1 1 1 運轉前檢查事項
運轉前請先檢查下列注意事項：
● 機體外部電源是否連接，電源供應是否妥當。
● 機體接地工事是否已實(shí)施。
● 機體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護膜是否已取下。
3-2 2 2 2 運轉時(shí)注意事項
(1) 開(kāi)始運轉
● 當電源開(kāi)啟后，機體即開(kāi)始運轉。
● 機體運轉后請確認是否有異?，F象。
當有下列情形發(fā)生，機體無(wú)法正常運轉時(shí)，請向經(jīng)銷(xiāo)服務(wù)人員反映。
● 機體內部有異物，機體離心風(fēng)扇無(wú)法正常旋轉。
● 機體內部電線(xiàn)脫落，接頭松脫。
● 機體內部電氣部件，如過(guò)電源插頭、馬達損壞。
(2) 停止運轉
● 運轉后如發(fā)現異?，F象，請即切斷電源，停止機體運轉。
4. 維修 ? 點(diǎn)檢
● 自購買(mǎi)日起進(jìn)行定期檢查，請勿自行檢查，以免造成觸電或火災等事故發(fā)生。
● 除了維修人員外，請勿自行拆解、修理或變更規格，以免造成觸電或火災的發(fā)生。
● 當更換濾網(wǎng)等部件時(shí)，請注意不要損壞濾紙。
● 維修?點(diǎn)檢時(shí)，請務(wù)必先切斷電源，停止機器運轉后再實(shí)施，以免發(fā)生觸電或傷害危險。
● 當安裝?維修?點(diǎn)檢完成后，在機體起動(dòng)前，請確定機體基礎穩固。
4-1 日常維護
每天工作開(kāi)始之前請依表 2.點(diǎn)檢下列各項，當發(fā)現有不正常的情形，立即切斷電源并采取改正措施。
4-2 定期維護
使用風(fēng)機過(guò)濾器單元一段時(shí)間后，因使用環(huán)境及使用狀況之差異，為了防止意外及確保風(fēng)機過(guò)濾器單元的正常運轉，請務(wù)必實(shí)施下列定期點(diǎn)檢。
4-2.1 定期維護
(1)定期維護項目請依表 3.所示，對風(fēng)機過(guò)濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢，當部件壽命已至時(shí)，請立即進(jìn)行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會(huì )因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。
(2)當由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄 漏 (腐蝕氣體…..等) 意外發(fā)生，
停機再啟動(dòng)后，請務(wù)必實(shí)施相同的檢查。
3. 定期維護項目
表 4 ?消耗性部件的更換期間 ( 我司建議 )
4.2.2 點(diǎn)檢完成
點(diǎn)檢完成后，清潔工作場(chǎng)所及確認風(fēng)機過(guò)濾器單元在正常運轉狀況；保留點(diǎn)檢報 告 ,當部件更換或機體更新時(shí)作為參考。
3 4-3 故障排除
?若有以下現象發(fā)生，連絡(luò )本公司并告知機身編號、機型、電壓及不良現象(盡可能詳細) ，然后慎重的調查問(wèn)題的起因及采取適合的改善措施。
● 非服務(wù)技術(shù)人員請勿拆解、修理或修改風(fēng)機過(guò)濾器單元，以避免造成嚴重的意外，例如觸電或火災。
● 當需要更換服務(wù)備品時(shí)，請務(wù)必依本說(shuō)明書(shū)中表 1.所列之部件名稱(chēng)提供予服務(wù)人員。
● 任何未經(jīng)認可之代用品，不僅可能會(huì )影響風(fēng)機過(guò)濾器單元的性能，同時(shí)可能造成火災、觸電或其它危險。
FFU概念及FFU原理
Fan Filter Unit（風(fēng)機過(guò)濾單元機組）簡(jiǎn)稱(chēng)FFU，是由高效過(guò)濾器（HEPA）或超高效過(guò)濾器（ULPA）、微型風(fēng)機、殼體組合而成的凈化空調末端，其用于亂流及層流潔凈室內。FFU通常都是與吊頂骨架配合使用，根據吊頂骨架的不同選擇與之對應的FFU。FFU的潔凈方式可以實(shí)現空氣潔凈度等級要求在ISO3∽ISO9（即1級∽100萬(wàn)級）之間的潔凈室。
常見(jiàn)的潔凈室空氣處理方式有兩種，分別是MAU+AHU+HEPA（以下簡(jiǎn)稱(chēng)AHU系統）和MAU+FFU+DC干盤(pán)管（以下簡(jiǎn)稱(chēng)FFU系統）。通過(guò)對兩種方式的比較得出：FFU在凈化空調系統中充當了凈化循環(huán)機組，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量等于潔凈室內FFU的風(fēng)量總和。潔凈室的空氣是由FFU從潔凈天花夾層中送進(jìn)潔凈室內，并通過(guò)回風(fēng)夾道將循環(huán)空氣再送回到天花夾層；循環(huán)空氣在通過(guò)回風(fēng)夾道時(shí)與安裝在夾道中的DC干盤(pán)管進(jìn)行熱量交換。
附FFU特點(diǎn)及用途
FFU的特點(diǎn)：低能耗、低噪音、方便靈活、節約空間、易安裝。
低能耗：從FFU的組成部件來(lái)看，需要消耗能量的只有微型風(fēng)機，而微型風(fēng)機的功率一般都是在110w∽190w之間，雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點(diǎn)。通常潔凈室的循環(huán)風(fēng)量是很大的，以面積為100m2、潔凈室內高為3m、空氣潔凈度等級要求為ISO6（即1000級）的潔凈室為例：《潔凈廠(chǎng)房設計規范（GB500073—2001）》規定空氣潔凈等級為ISO6的潔凈室的換氣次數為50∽60次/h。我們在這里取換氣次數為55次/h，FFU則總循環(huán)風(fēng)量為16500CMH，補新風(fēng)量我們取3000CMH。
方案1AHU系統中：MAU的全壓損失為700Pa,功率為2.2kw;AHU的全壓損失為1300Pa，功率為15kw；整個(gè)系統的總功率為17.2kw。
方案2FFU系統中：MAU的全壓損失為800Pa,功率為2.2kw；FFU規格為1200×600，風(fēng)量1200CMH)有14個(gè)，單個(gè)FFU的功率為190W,FFU總功率為2.66kw；整個(gè)系統的總功率為4.86kw。
通過(guò)對方案1、2的功率比較，我們得出一個(gè)結論：FFU在系統充當循環(huán)風(fēng)柜和高效過(guò)濾器的集合體，而且其消耗的功率遠比循環(huán)風(fēng)柜AHU功率的要小，符合現在大力提倡節約型社會(huì )的主題，并給廠(chǎng)方在節約生產(chǎn)成本方面找到一個(gè)新的方向。
低噪音：《中戶(hù)人民共和國國家標準城市區域噪聲標準》規定：工業(yè)區FFU晝間65db(A)、夜間55db(A)。目前市場(chǎng)上風(fēng)機的噪音值一般是在65∽90db(A)，有的甚至會(huì )達到100db(A) 以上，如果采用AHU系統就很容易噪聲超標，造成噪聲污染。而FFU的噪音值一般是在45∽55db(A)，這樣就不會(huì )擔心其噪聲會(huì )超標。
隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的日新月異，尤其是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫藥等工業(yè)的發(fā)展，促使潔凈技術(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進(jìn)，對FFU的需求也越來(lái)越大。本文重點(diǎn)闡述了FFU的特點(diǎn)及控制方式，并結合現代電子潔凈室對空氣潔凈度等級的要求；分析了FFU應用在潔凈室中的優(yōu)勢，并介紹了FFU在實(shí)際工程案例中的應用。
隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的日新月異，尤其是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫藥等工業(yè)的發(fā)展，促使潔凈技術(shù)的發(fā)展也隨之突飛猛進(jìn)?，F代化工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和現代化科學(xué)實(shí)驗活動(dòng)要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。電子計算機就是微型化產(chǎn)品中最具代表性的產(chǎn)品之一，電子管到半導體分離器件到集成電路再到超大規模集成電路。特別是20世紀80年代大規模集成電路和超大集成電路的迅速發(fā)展，大大促進(jìn)潔凈技術(shù)的發(fā)展。
]]>美國聯(lián)邦標準-潔凈度等級對照表（USA Federal Standard）209E（1992年）
單位：塵埃數量個(gè)/ft3 ■?中國藥品生產(chǎn)潔凈室（區）-潔凈度等級對照表
國家藥品監督管理局1999年8月1日發(fā)布實(shí)施
■?潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子-潔凈度等級對照表
國家標準GB50073-2001 |
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附：潔凈室的空氣潔凈度，應進(jìn)行下列測試
(一)空態(tài)、靜態(tài)測試
空態(tài)測試:潔凈室已竣工，凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態(tài)，室內沒(méi)有工藝設備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。
靜態(tài)測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態(tài)，工藝設備已安裝，室內沒(méi)有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。
(二)動(dòng)態(tài)測試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測試。
潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節的有關(guān)規定執行。
二、空態(tài)、靜態(tài)測試
(一)測試前的準備
1、應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進(jìn)行徹底清潔。
2、采用光散射粒子計數器對高效空氣過(guò)濾器進(jìn)行檢漏測試。首先測定高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側靜壓箱內(或風(fēng)管內)粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數應為大于或等于30，000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開(kāi)始檢漏。將粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過(guò)濾器2–3厘米處，可以2~4厘米/秒的速度移動(dòng)，對高效空氣過(guò)濾器整個(gè)斷面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。
當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過(guò)3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏，必須進(jìn)行堵漏。
(二)測試內容
1、總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等;
2、潔凈室壓力值;
3、層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向;
4、潔凈工作區的潔凈度;
5、室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;
6、潔凈室內噪聲。
(三)潔凈工作區空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數，宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數。也可采用濾膜顯微鏡計數法。光散射粒子計數法:
1、光散射粒子計數器采樣量100級:每次采樣量大于或等于1升。l，000級-l0，000級:每次采樣量大于或等于0.3升。100，000級:每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔凈室，宜采用大流量粒子計數器進(jìn)行測試;如果條件不具備時(shí)，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。
2、采樣注意事項:
(1)采樣管必須干凈，連接處嚴禁滲漏。
(2)采樣管的長(cháng)度，應根據儀器的允許長(cháng)度。當無(wú)規定時(shí)，不宜大于1.5米。
(3)采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測試人員應在采樣口的下風(fēng)側。
(4)采樣順序應按含塵濃度從低到高進(jìn)行。
3、測點(diǎn)布置
(l)檢測在潔凈工作區內進(jìn)行。當生產(chǎn)工藝無(wú)特殊要求時(shí)，取樣高度宜為離地面1米
(2)層流潔凈室測點(diǎn)總數不小于20點(diǎn)，測點(diǎn)間距為0.5~2.0米，粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數允許有一個(gè)點(diǎn)超過(guò)。水平層流潔凈室測點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區內。
(3)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測點(diǎn)(附圖2)。每增加20-50平方米，增加3–5個(gè)測點(diǎn)。
4、數據整理
(1)每個(gè)測點(diǎn)的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測數值。
(2)對于大于或等于0.5微米的塵粒數確定:層流潔凈室取各測定點(diǎn)最大值，亂流潔凈室取各測點(diǎn)的平均值。
(四)正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。
三、動(dòng)態(tài)測試。在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行，測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試。
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凈化空調也就是組合式空調機,凈化空調能進(jìn)行空氣運行制冷、干燥、加熱、加濕、混合、過(guò)濾凈化、消聲、輸送等處理過(guò)程，各 功能段組合靈活，可按使用場(chǎng)合要求任意多功能組合，能滿(mǎn)足各行業(yè)的空氣凈化，空氣調節系統的需要 ，廣泛應用于電子儀表、精密儀器制造、紡織、化織、卷煙、制藥、醫院手術(shù)室、食品、化妝品、核電 站、輕化工等行業(yè)作工業(yè)性空調，也適用于影劇院、體育館、商店、餐館、賓館、辦公大樓等大中型公
共建筑作適應性空調。
空調送風(fēng)系統通過(guò)一定的流速將灰塵送到過(guò)濾系統當中，初級過(guò)濾器將5um以上大顆?；覊m留在過(guò)濾表 面，中效過(guò)濾器將1um-5um顆粒抓取，高效過(guò)濾器將0.3um-0.5um以上灰塵顆粒過(guò)濾，從而保證無(wú)塵車(chē)間等級！
無(wú)塵室空調特性：
微塵粒子（按等級要求）
溫度（22-23攝氏度DB），濕度（40-45%RH）
恒溫恒濕控制要求（正負0.1攝氏度，正負2%）
全外氣與高換氣次數（化學(xué)藥品，氣體，揮發(fā)溶劑）
全天候（24hr）運轉（負荷大，備份機組）
氣流分布與控制
高能耗，高運轉以及維修成本（1.4-1.9KW/m2）
空氣循環(huán)量計算：
1、依空氣換氣次數（ACH）
Q=V*ACH
（m3/hr）=（m3/次）*（次/hr）
（2）依氣流速度（Airvelocity）
Q=V*A
（m3/hr）=（m/s）*（m2）
循環(huán)風(fēng)量=風(fēng)速*面積（房間或回風(fēng)口）
2、依氣流速度（Airvelocity）
Q（立方米/hr）=v(m/s)*A(m2)
循環(huán)風(fēng)量=風(fēng)速*面積
（1）外氣量（Q1與Q2較大者）
Q1=制程排氣量（Qe）+間隙外洩量（Qi）+關(guān)門(mén)外泄量（Qd）
（2）外氣量=排氣量+10%排氣量（泄漏）+1%循環(huán)空氣量=8~10%循環(huán)空氣量
空調內過(guò)濾網(wǎng)設計方案
AirFilter（空氣過(guò)濾器.濾網(wǎng)）
初級濾網(wǎng)–外氣入口 （Pre-filter）（5um↑）
重擊濾網(wǎng)–空調箱中 （MediumEfficiencyFilter’BagFilter） （1um↑）
高效率濾網(wǎng)–無(wú)塵室 （HighEfficiencyParticulateAirFilter’HEPA） （1um↓）
超高效率濾網(wǎng)–Class100↑ （UltraLowPenetrationAirFilter’ULPA） （o.5u↓）
空調凈化應用
空調內濾網(wǎng)及空調系統示意圖
根據行業(yè)制程的不同要求，產(chǎn)品對無(wú)塵等級的要求不同，對過(guò)濾器的選型也是不一樣的，不但要對應過(guò)濾顆粒粒徑大小而設計，還要考慮空氣過(guò)濾器中不同規格的參數比如初阻力，效率精度，流速等因素來(lái)設計，選取相應的過(guò)濾器。