重點(diǎn)介紹無(wú)塵室定義及無(wú)塵室等級

什么是無(wú)塵室？無(wú)塵室定義是什么？無(wú)塵室等級分為哪些？本文重點(diǎn)介紹無(wú)塵室定義及無(wú)塵室等級。無(wú)塵室又稱(chēng)為潔凈室,是根據需要,對空氣中塵粒（包括微生物）、溫度、濕度、壓力、和噪聲進(jìn)行控制的密封空間,并以其潔凈度等級符合規范規定為主要特征。

依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無(wú)塵室(又名潔凈室,無(wú)塵車(chē)間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無(wú)塵室的等級只用塵粒數目來(lái)敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無(wú)塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來(lái)表示。例如：10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。

一、無(wú)塵室定義

將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內之空間。此處所指之塵埃為肉眼無(wú)法看見(jiàn)的灰塵及粒子，且指一般空氣清凈機無(wú)法完全清除之灰塵。
無(wú)塵室一般分為電子、精密工業(yè)用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用BiologicalCleanRoo(BCR)。

二、聯(lián)邦規格無(wú)塵室等級
現今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規格(U.S.Federalstandard209b)，BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格(美國航空署5340.2規格)。其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個(gè)0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱(chēng)為[等級○○]。例如：空氣中含有10個(gè)0.5以下時(shí)，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個(gè)微粒子。

三、在JIS標準下，無(wú)塵室清潔度，共分為8個(gè)等級
一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2???8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1;百個(gè)以下是100=102是等級2;千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級3，一次類(lèi)推。
21世界，最尖端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結構的變革，無(wú)塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高。因此在無(wú)塵室用防塵材料及商品都顯得格外重要。

所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著(zhù)集成電路的級數的快速成長(cháng)，也增加了對制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導體關(guān)鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線(xiàn)時(shí)，就可能會(huì )使金屬導線(xiàn)形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線(xiàn)上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素。

二、無(wú)塵車(chē)間標準-等級

美國聯(lián)邦標準(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3

潔凈度級別 粒徑(um)

0.1 0.2 0.3 0.5 5.0

1 35 7.5 3 1 NA

10 350 75 30 10 NA

100 NA 750 300 100 NA

1000 NA NA NA 1000 7

10000 NA NA NA 10000 70

100000 NA NA NA 100000 700

中國藥品生產(chǎn)無(wú)塵車(chē)間(區)的空氣潔凈度標準

潔凈度級別 塵埃最允許數/平方米 微生物最大允許數

≥0.5um 5um 浮游菌個(gè)/立方米 沉降菌個(gè)/皿.30min

100 3500 0 5 1

10000 350000 2000 100 3

100000 3500000 20000 500 10

300000 10500000 61800 NA 15

無(wú)塵車(chē)間及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001

空氣潔凈度等級(N) 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)

0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

1 10 2

2 100 24 10 4

3 1000 237 102 35 8

4 10000 2370 1020 352 83

5 100000 23700 10200 3520 832 29

6 1000000 237000 102000 35200 8320 293

7 352000 83200 2930

8 3520000 832000 29300

9 35200000 8320000 293000

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了解更多：潔凈室分類(lèi)